設(shè)立子基金的程序包括：（1）申請者向受托管理機構(gòu)提交子基金申請材料；（2）受托管理機構(gòu)受理申請、進行初審、開展盡職調(diào)查、形成盡職調(diào)查報告和子基金設(shè)立方案并報引導(dǎo)基金理事會；（3）引導(dǎo)基金理事會審核受托管理機構(gòu)提交的材料，形成審核意見；（4）科技部根據(jù)引導(dǎo)基金理事會的審核意見，對子基金設(shè)立方案進行合規(guī)性審查，對于符合設(shè)立條件的，商財政部同意，向社會公示無異議后，批準出資設(shè)立子基金，并向社會公告；（5）受托管理機構(gòu)根據(jù)科技部、財政部的批準文件辦理出資設(shè)立子基金的相關(guān)手續(xù)。
